實驗室小型工藝生產(chǎn)線用空冷干式泵

實驗室小型工藝生產(chǎn)線用空冷干式泵

產(chǎn)品定位

• 用途：適用于需要低噪音、高可靠性和緊湊設(shè)計的真空應(yīng)用。
• 特點：低噪音設(shè)計（<50 dB）、小型化、高效能、無油干式運行。
• 適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、真空干燥、化學(xué)氣相沉積（CVD）、質(zhì)譜儀、小型工藝生產(chǎn)線等。

2. 主要型號及性能參數(shù)

NeoDry G 系列型號

• G-10：抽速 10 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-20：抽速 20 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-30：抽速 30 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-50：抽速 50 L/min，極限真空度 10?? Pa

產(chǎn)品定位

• 用途：適用于需要低噪音、高可靠性和緊湊設(shè)計的真空應(yīng)用。
• 特點：低噪音設(shè)計（<50 dB）、小型化、高效能、無油干式運行。
• 適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、真空干燥、化學(xué)氣相沉積（CVD）、質(zhì)譜儀、小型工藝生產(chǎn)線等。

2. 主要型號及性能參數(shù)

NeoDry G 系列型號

• G-10：抽速 10 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-20：抽速 20 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-30：抽速 30 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-50：抽速 50 L/min，極限真空度 10?? Pa

產(chǎn)品定位

• 用途：適用于需要低噪音、高可靠性和緊湊設(shè)計的真空應(yīng)用。
• 特點：低噪音設(shè)計（<50 dB）、小型化、高效能、無油干式運行。
• 適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、真空干燥、化學(xué)氣相沉積（CVD）、質(zhì)譜儀、小型工藝生產(chǎn)線等。

2. 主要型號及性能參數(shù)

NeoDry G 系列型號

• G-10：抽速 10 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-20：抽速 20 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-30：抽速 30 L/min，極限真空度 10?? Pa
• G-50：抽速 50 L/min，極限真空度 10?? Pa

是一款 低噪音、小型空冷干式真空泵，專為 實驗室、分析儀器、小型工藝生產(chǎn)線 設(shè)計，適用于 化學(xué)氣相沉積（CVD）、真空干燥、半導(dǎo)體制造、質(zhì)譜儀輔助抽真空 等場景。是一款 低噪音、小型空冷干式真空泵，專為 實驗室、分析儀器、小型工藝生產(chǎn)線 設(shè)計，適用于 化學(xué)氣相沉積（CVD）、真空干燥、半導(dǎo)體制造、質(zhì)譜儀輔助抽真空 等場景。