多級(jí)羅茨無油反向擴(kuò)散結(jié)構(gòu)干式真空泵

多級(jí)羅茨無油反向擴(kuò)散結(jié)構(gòu)干式真空泵

1. 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

• 多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護(hù)周期＞20 000 h
• 反向擴(kuò)散流路：氣體在泵腔內(nèi)折返流動(dòng)，可凝蒸氣被回流冷氣連續(xù)稀釋，顯著降低凝結(jié)與腐蝕，提高耐化學(xué)耐久性
• 回流冷卻系統(tǒng)：每級(jí)壓縮后通過水冷夾套冷卻，排氣溫度＜115 °C，減少聚合物/藥液熱分解沉積，延長(zhǎng)清洗間隔

2. 高排氣速度（50 Hz 數(shù)據(jù)）
   | 型號(hào) | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

3. 無油 & 清潔

• 泵腔無油，無碳片/無潤(rùn)滑脂，排氣側(cè)無油霧回流，滿足半導(dǎo)體、面板廠對(duì)潔凈真空的要求
• 可選氮?dú)獯祾呖谂c排氣消音器，用于粉塵或腐蝕性氣體工藝，減少維護(hù)頻率

4. 節(jié)能 & 噪音

• 變頻直連電機(jī)（可選），根據(jù)負(fù)荷自動(dòng)降速，比傳統(tǒng)單級(jí)羅茨節(jié)電 15–25 %
• 無齒輪嚙合，運(yùn)行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，無需隔音罩即可放在潔凈室樓下機(jī)房

5. 典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：CVD、ALD、刻蝕腔真空泵，可長(zhǎng)期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸氣而不卡死
• 光伏：PERC/TopCon 刻蝕、PECVD 工段，抗 SiN 粉塵反擴(kuò)散
• 化工 & 制藥：溶劑蒸餾、干燥、結(jié)晶，可冷凝甲苯、DMF 等有機(jī)蒸氣并在線回收

6. 選型 & 訂貨

• 標(biāo)準(zhǔn)品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 現(xiàn)貨 2–3 周；
• 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接機(jī)械增壓泵 (TE 系列) 組成干式機(jī)組，極限 10?2 Pa 級(jí)

1. 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

• 多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護(hù)周期＞20 000 h
• 反向擴(kuò)散流路：氣體在泵腔內(nèi)折返流動(dòng)，可凝蒸氣被回流冷氣連續(xù)稀釋，顯著降低凝結(jié)與腐蝕，提高耐化學(xué)耐久性
• 回流冷卻系統(tǒng)：每級(jí)壓縮后通過水冷夾套冷卻，排氣溫度＜115 °C，減少聚合物/藥液熱分解沉積，延長(zhǎng)清洗間隔

2. 高排氣速度（50 Hz 數(shù)據(jù)）
   | 型號(hào) | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

3. 無油 & 清潔

• 泵腔無油，無碳片/無潤(rùn)滑脂，排氣側(cè)無油霧回流，滿足半導(dǎo)體、面板廠對(duì)潔凈真空的要求
• 可選氮?dú)獯祾呖谂c排氣消音器，用于粉塵或腐蝕性氣體工藝，減少維護(hù)頻率

4. 節(jié)能 & 噪音

• 變頻直連電機(jī)（可選），根據(jù)負(fù)荷自動(dòng)降速，比傳統(tǒng)單級(jí)羅茨節(jié)電 15–25 %
• 無齒輪嚙合，運(yùn)行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，無需隔音罩即可放在潔凈室樓下機(jī)房

5. 典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：CVD、ALD、刻蝕腔真空泵，可長(zhǎng)期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸氣而不卡死
• 光伏：PERC/TopCon 刻蝕、PECVD 工段，抗 SiN 粉塵反擴(kuò)散
• 化工 & 制藥：溶劑蒸餾、干燥、結(jié)晶，可冷凝甲苯、DMF 等有機(jī)蒸氣并在線回收

6. 選型 & 訂貨

• 標(biāo)準(zhǔn)品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 現(xiàn)貨 2–3 周；
• 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接機(jī)械增壓泵 (TE 系列) 組成干式機(jī)組，極限 10?2 Pa 級(jí)