實驗室及分析儀器用靜音型油旋片真空泵

實驗室及分析儀器用靜音型油旋片真空泵

1. 排氣性能

• 單級旋片、直聯驅動
• 50 Hz 抽速 135 L/min；極限分壓 ≤ 0.6 Pa（關鎮流閥）
• 大氣壓到 10 kPa 區間可連續運轉，適合快速粗抽

2. 氣體鎮流機構

• 泵頭側面自帶手動鎮流閥，引入干燥空氣或 N?，抑制水汽/溶劑在泵腔凝結
• 鎮流開啟后，極限真空約 3 Pa，泵油壽命可延長 2-3 倍，避免乳化
• 鎮流量可調，出廠設定 5-8 slm，用戶可按工藝微調

3. 低噪音設計

• 電機轉速 1 400 r/min（50 Hz），加隔聲罩后 1 m 聲壓級 ≤ 55 dB(A)，比同級 VS 系列再低 6-8 dB
• 整機重 28 kg，橡膠減震腳墊，可直接放在實驗臺或儀器柜內，無需地腳螺栓

4. 維護與配件

• 內置油霧過濾器＋回油機構，油煙捕集率 ≥ 99.9%，室內排口幾乎無可見油煙
• 1 L 礦物油（ULVAC R-4）即可運行；換油口、放油口同側，5 min 完成保養
• 可選：油位開關、溫度開關、24 V 直流電機、CF/NW 法蘭轉接件

5. 典型用途

• 分析儀器（GC-MS、ICP-MS）前級泵
• 真空干燥箱、手套箱、冷凍干燥機
• 輕負荷濺射、SEM 樣品室、小型鍍膜機粗抽

1. 排氣性能

• 單級旋片、直聯驅動
• 50 Hz 抽速 135 L/min；極限分壓 ≤ 0.6 Pa（關鎮流閥）
• 大氣壓到 10 kPa 區間可連續運轉，適合快速粗抽

2. 氣體鎮流機構

• 泵頭側面自帶手動鎮流閥，引入干燥空氣或 N?，抑制水汽/溶劑在泵腔凝結
• 鎮流開啟后，極限真空約 3 Pa，泵油壽命可延長 2-3 倍，避免乳化
• 鎮流量可調，出廠設定 5-8 slm，用戶可按工藝微調

3. 低噪音設計

• 電機轉速 1 400 r/min（50 Hz），加隔聲罩后 1 m 聲壓級 ≤ 55 dB(A)，比同級 VS 系列再低 6-8 dB
• 整機重 28 kg，橡膠減震腳墊，可直接放在實驗臺或儀器柜內，無需地腳螺栓

4. 維護與配件

• 內置油霧過濾器＋回油機構，油煙捕集率 ≥ 99.9%，室內排口幾乎無可見油煙
• 1 L 礦物油（ULVAC R-4）即可運行；換油口、放油口同側，5 min 完成保養
• 可選：油位開關、溫度開關、24 V 直流電機、CF/NW 法蘭轉接件

5. 典型用途

• 分析儀器（GC-MS、ICP-MS）前級泵
• 真空干燥箱、手套箱、冷凍干燥機
• 輕負荷濺射、SEM 樣品室、小型鍍膜機粗抽