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非接觸式電阻率測量儀是如何測量的

Napson非接觸式電阻率測量儀EC-80P是一種采用渦電流原理進行非接觸式電阻率測量的設備,適用于測量2-12寸晶圓,能夠測量Si, SiC, GaN, GaAs等低阻及高阻半導體材料。該設備通過脈沖電壓激勵方法作為測量原理,可以在不損壞樣品的情況下進行測量。渦流法主要用于非接觸式測量,可測量1E-3(1m)至1E + 4(10k)Ω/□電阻范圍,適用于半導體,化合物半導體,液晶和新型碳基材料等廣泛領域的測量。此外,EC-80P便攜型非接觸電阻率量測儀可測量PN極性,并具有溫度補償功能,多個量程探頭可選

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