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技術(shù)文章

高輸出型芯片周邊曝光用

初期紫外線強(qiáng)度2000mw/cm2以上(在365nm,距掩模0.5mm的距離)
強(qiáng)度分布的均勻性10%以下(4x)5mm區(qū)域)
紫外線発光源紫外發(fā)光二極管
紫外線発光源壽命20000小時(推定壽命驅(qū)動電流最大時)※紫外線強(qiáng)度為初期50%以上的點燈累計時間
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制(通過遠(yuǎn)程及手動控制點亮/熄滅)
光量調(diào)整機(jī)能UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20~100%
外裝材質(zhì)不銹鋼
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米

光學(xué)設(shè)計,實現(xiàn)了7,000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時間,大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。

聯(lián)系人:林經(jīng)理
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